氣體純度表示通常有兩類。
對化學家來說,一般用99%、99.9%、99.99%、99.999%、99.9999%、99.99999%、99.999999%等純度表示。那么其余1%、0.1%、0.01%、0.001%、0.0001%、0.00001%、0.000001%為雜質。
物理學家根據上述幾個“9”的說法采用簡便的方法,即n個“9”的說法。如上面的純度可以分別寫成2N、3N、4N、5N、6N、7N、8N。如寫成4N8或5N5,這時純度分別為99.998%和99.9995%;如果寫成5N85,則純度為99.99985%。
關于雜質含量有常量、微量和痕量表示,對于低于微量和痕量雜質一般指ppm~ppb級范圍。具體的雜質濃度是:lppm=10-4%; 1ppb=10-7%; 1ppt=10-10%。
氣體中的雜質分類:氣體中的雜質按化學性質分類有氧化性質氣體(如氧、二氧化碳、水)、還原性質氣體(如氫、一氧化碳)和不活潑性氣體或惰性氣體(如氮、氬、氦)。如果雜質按形態分,雜質有氣態雜質(如氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氫)、液態氣體雜質(如水)和固態氣體雜質(如顆粒或塵埃)。
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